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高介電(diàn)常數SLC單層芯片電(diàn)容
發布者 : admin 發布時間 : 2022/05/30 09:05:15


在現代電(diàn)子領域的發展中(zhōng),電(diàn)子裝(zhuāng)置的小(xiǎo)型化和多(duō)功能(néng)化已經成為(wèi)發展趨勢,電(diàn)子領域對片式電(diàn)子元器件的需求日益遞增,從而帶動了SLC單層芯片電(diàn)容的飛速發展。晶界層半導體(tǐ)陶瓷材料具(jù)有(yǒu)溫度特性好、介電(diàn)常數高以及頻率特性好等優點,在單層片式半導體(tǐ)陶瓷材料中(zhōng)占據重要地位。現有(yǒu)晶界層半導體(tǐ)陶瓷材料的制作(zuò)工(gōng)藝一般為(wèi):

材料配比→與去離子水混合→烘幹→粉碎→煅燒→過篩→加添加劑→混合→流延成膜→排膠→在氫氮混合氣體(tǐ)中(zhōng)還原→塗覆氧化劑,空氣氣氛中(zhōng)氧化,燒結→單層芯片電(diàn)容用(yòng)基片。

這種工(gōng)藝制得的晶界層大多(duō)添加了镉和鉛等重金屬,在生産(chǎn)和使用(yòng)的過程中(zhōng)對環境的污染極大。針對現有(yǒu)技(jì )術的缺陷,廣東愛晟電(diàn)子科(kē)技(jì )有(yǒu)限公(gōng)司介紹一款高介電(diàn)常數SLC單層芯片電(diàn)容,其晶界層半導體(tǐ)陶瓷材料不含镉和鉛等重金屬,具(jù)有(yǒu)對環境污染少、介電(diàn)常數高等優點。高介電(diàn)常數SLC單層芯片電(diàn)容的晶界層半導體(tǐ)陶瓷材料,按重量百分(fēn)比由60~69% SrCO3、30~38% TiO2以及0.2~3%添加劑制成。具(jù)體(tǐ)的制備方法如下:

一、按配比将SrCO3與TiO2配好料後,加入去離子水,采用(yòng)球磨機進行混合球磨,球磨漿料中(zhōng)粉料、磨球和去離子水的重量比為(wèi)1:5:1~1.5,球磨時間為(wèi)2~3小(xiǎo)時,然後烘幹、粉碎;

二、在1200℃~1300℃中(zhōng)将粉料煅燒3~4小(xiǎo)時,然後粉碎、過篩;

三、在粉料中(zhōng)加入添加劑,加入去離子水,采用(yòng)球磨機來進行混合球磨,球磨漿料中(zhōng)粉料、磨球和去離子水的重量比為(wèi)1:5:1~1.5,球磨時間為(wèi)3~4小(xiǎo)時,然後烘幹、粉碎、過60目篩;

四、在20~30MPa壓力下将粉料壓制成尺寸為(wèi)50mm*50mm的錠子,再經過燒結得到陶瓷體(tǐ),燒結的條件為(wèi):先在氫氮混合氣氛中(zhōng)以1300℃~1400℃溫度保溫燒結4~5小(xiǎo)時,然後降溫至1000±50℃,并通入空氣保溫燒結3~6小(xiǎo)時;

五、按所需厚度對陶瓷體(tǐ)切片,得到單層芯片電(diàn)容用(yòng)陶瓷基片;

六、通過印刷或濺射的方式對陶瓷基片進行金屬化處理(lǐ),在陶瓷基片上形成金屬電(diàn)極;

七、利用(yòng)劃片機對陶瓷基片進行劃切,得到單層芯片電(diàn)容;

八、對制得的單層芯片電(diàn)容進行電(diàn)性能(néng)測試。

高介電(diàn)常數單層芯片電(diàn)容通過ZnO、CaCO3、Li2CO3、B2O3、CuO、La2O3、SiO2和Bi2O3等添加劑合理(lǐ)配比,在晶界上形成穩定且絕緣良好的晶界層,故無需塗覆絕緣氧化物(wù)也可(kě)以達到同樣的絕緣性能(néng)。另外,通過調整燒結工(gōng)藝,一次燒結出性能(néng)優良陶瓷電(diàn)容器晶界層半導體(tǐ)陶瓷材料,不需要采用(yòng)塗覆絕緣氧化物(wù)的二次燒結方法,降低了生産(chǎn)的成本,而且符合單層芯片電(diàn)容小(xiǎo)型化和容量高的發展趨勢,以滿足日益提高的技(jì )術需要。





參考數據:

CN114334444A《一種單層陶瓷電(diàn)容器晶界層半導體(tǐ)陶瓷材料及其制備》

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