芯片電(diàn)容,因其尺寸小(xiǎo)、電(diàn)容量大、一緻性好,被廣泛應用(yòng)于微波通訊線(xiàn)路、微波功率放大器以及微波集成電(diàn)路中(zhōng),起到隔直通交、RF旁路、濾波、調諧等作(zuò)用(yòng)。現有(yǒu)的芯片電(diàn)容的制備工(gōng)藝,大多(duō)為(wèi)陶瓷粉料配料→球磨→等靜壓成型→燒結陶瓷錠→切片→絲網印刷法印刷銀漿→烘幹→燒銀→劃切。然而,用(yòng)此工(gōng)藝制作(zuò)的芯片電(diàn)容存在以下問題:
一、在冷熱沖擊的環境下,在使用(yòng)焊料高溫焊接芯片電(diàn)容的金屬電(diàn)極時,焊點附近的溫度發生驟變,金屬電(diàn)極因熱脹冷縮産(chǎn)生的應力容易使其出現龜裂,影響産(chǎn)品外觀;
二、由于金屬電(diàn)極與陶瓷基片的熱膨脹系數不同,它們脹縮的程度不一緻也産(chǎn)生了應力作(zuò)用(yòng),這種應力在牢固的焊點上無法得到釋放,容易導緻陶瓷基片産(chǎn)生微裂紋,甚至發生斷裂,從而大大影響芯片電(diàn)容的性能(néng),降低其可(kě)靠性和穩定性,導緻産(chǎn)品合格率較低,增加了生産(chǎn)成本。
為(wèi)了解決上述問題,愛晟電(diàn)子推薦一種應力緩沖金屬電(diàn)極芯片電(diàn)容,其具(jù)有(yǒu)耐冷熱沖擊、結構穩定、可(kě)靠性高的優點。該芯片電(diàn)容包括有(yǒu)陶瓷基片以及兩個分(fēn)别設于陶瓷基片的兩表面上的複合電(diàn)極,複合電(diàn)極是由第一金屬電(diàn)極層、應力緩沖層和第二金屬電(diàn)極層從内向外依次在陶瓷基片表面上層疊而成,應力緩沖層由金屬漿料與高嶺土粉末混合得到的材料制成。
相對于現有(yǒu)的芯片電(diàn)容,這款芯片電(diàn)容采用(yòng)第一金屬電(diàn)極層—應力緩沖層—第二金屬電(diàn)極層的複合電(diàn)極結構。其中(zhōng):
第一金屬電(diàn)極層與陶瓷基片結合,不易從陶瓷基片表面脫落,其厚度為(wèi)3~20μm。
應力緩沖層采用(yòng)添加了高嶺土的金屬漿料制備,其具(jù)備類似海綿的疏松多(duō)孔結構,可(kě)以緩沖外界環境變化産(chǎn)生的應力,保護第一金屬電(diàn)極層以及基片不受應力的破壞。可(kě)以提高芯片電(diàn)容整體(tǐ)的穩定性和可(kě)靠性,該應力緩沖層也有(yǒu)一定的阻隔作(zuò)用(yòng)。應力緩沖層的材料中(zhōng),高嶺土粉末與金屬漿料的質(zhì)量比為(wèi)1~20:100。在該比例範圍下制得的應力緩沖層的性能(néng)較為(wèi)适宜,若高嶺土添加量過少則很(hěn)難形成海綿狀的疏松多(duō)孔結構,應力緩沖層起不到緩沖應力的作(zuò)用(yòng);若添加量過多(duō)則會影響應力緩沖層的附着力,從而影響芯片電(diàn)容的可(kě)靠性。根據不同金屬漿料,高嶺土的添加量在該比例範圍内相應調整。應力緩沖層的厚度為(wèi)3~20μm。在該厚度範圍下的應力緩沖層的性能(néng)較為(wèi)适宜,過薄則不能(néng)起到緩沖作(zuò)用(yòng),過厚則增加成本,同時還可(kě)能(néng)影響芯片的可(kě)靠性。
第二金屬電(diàn)極層作(zuò)為(wèi)表面焊接層,具(jù)有(yǒu)焊接作(zuò)用(yòng),其厚度為(wèi)0.1~1μm。
應力緩沖金屬電(diàn)極芯片電(diàn)容的制備方法如下:
S1:制備陶瓷基材:
按常規芯片電(diàn)容配方配得陶瓷粉末,再對陶瓷粉末進行球磨、等靜壓成型、燒結、切片,即可(kě)得到片狀的陶瓷基材。
S2:印刷第一金屬電(diàn)極層:
采用(yòng)絲網印刷法在陶瓷基材的兩表面印刷金屬漿料,金屬漿料幹燥後,得到印刷在陶瓷基材上的第一金屬電(diàn)極層。
S3:印刷應力緩沖層:
按配比在金屬漿料中(zhōng)加入高嶺土粉末,充分(fēn)攪拌均勻後采用(yòng)絲網印刷法印刷在第一金屬電(diàn)極層表面,然後進行烘幹并在700~1000℃下燒結,得到印刷在第一金屬電(diàn)極層表面的應力緩沖層。
S4:一次清洗:
使用(yòng)清洗液處理(lǐ)陶瓷基材,再使用(yòng)超聲波機清洗,清洗時間為(wèi)5±1分(fēn)鍾,然後烘幹,烘幹溫度為(wèi)100±5℃,烘幹時間為(wèi)30±5分(fēn)鍾。
S5:二次清洗:
将一次清洗得到的陶瓷基材放到等離子清洗機中(zhōng)進行二次清洗,清洗時間為(wèi)5±1分(fēn)鍾,烘幹溫度為(wèi)100±5℃,烘幹時間為(wèi)30±5分(fēn)鍾,同時活化表面。
S6:濺射第二金屬電(diàn)極層:
先将真空濺射鍍膜機抽真空到工(gōng)藝範圍,再充入氩氣作(zuò)為(wèi)工(gōng)作(zuò)氣體(tǐ),以貴金屬作(zuò)為(wèi)靶材,在電(diàn)場作(zuò)用(yòng)下,Ar+加速轟擊靶材,将靶材原子濺射到陶瓷基材上,在陶瓷基材兩表面的應力緩沖層表面上分(fēn)别濺射第一、第二金屬電(diàn)極層。
S7:劃切:
對陶瓷基材進行劃切,得到單個的芯片電(diàn)容。
應力緩沖金屬電(diàn)極芯片電(diàn)容耐冷熱沖擊,在冷熱沖擊環境下,如高溫焊接時,應力緩沖層能(néng)大幅度減少傳遞到陶瓷基片和第一金屬電(diàn)極層的破壞性應力,複合電(diàn)極整體(tǐ)上受到的應力作(zuò)用(yòng)較小(xiǎo),不易發生龜裂,并且陶瓷基片受應力作(zuò)用(yòng)而開裂的可(kě)能(néng)性也降低了,從而提高了該芯片電(diàn)容的結構穩定性和可(kě)靠性,能(néng)夠在保證芯片電(diàn)容的可(kě)靠性的同時,實現成本最少化。
參考數據:
CN111180204A 《一種應力緩沖金屬電(diàn)極結構芯片電(diàn)容》
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